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2021-06-29 点击量：536次
目前，我国制作真空集热管普遍采用的依然是多层铝-氮/铝太阳选择性吸收涂层制造技术。这一技术是清华大学殷志强教授和他的同事们于1984年发明，1985年申报国家专利，1987年获得批准的（专利号：ZL851001424）。
这一技术的基本原理是在镀膜机内，设置单圆柱铝靶的磁控溅射系统。镀膜机内一次装载数十只作为集热管内管的玻璃管，在行星机构传动下，玻璃管做公转与自转。立式圆柱铝靶在中心位置，在氩气中非反应溅射沉积铝底层，再注入流量可控的氮气，制备多层铝—氮复合薄膜材料作为吸收层。
这一被称为渐变铝-氮、铝太阳选择性吸收涂层的制造技术，其太阳吸收比可达0。93，发射比约0。05（80℃）。这是世界上第一次只采用一种金属材料，既制备金属底层又制备复合薄膜材料的选择性吸收涂层。清华阳光公司利用此项技术加工的晒乐牌紫金系列真空集热管，经国家轻工业玻璃产品质量监督测试中心测试，其太阳吸收比α=0。95（AM1。5）；半球发射比εh=0。050（80℃±5℃）。
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